排氣流程為機(jī)械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài)，為擴(kuò)散泵后繼抽真空提供前提，之后當(dāng)擴(kuò)散泵抽真空腔的時候，機(jī)械泵又配合油擴(kuò)散泵組成串聯(lián)，以這樣的方式完成抽氣動作。

　　排氣系統(tǒng)為鍍膜機(jī)真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機(jī)械泵、增壓泵、油擴(kuò)散泵三大部分組成。

　　機(jī)械泵也叫前級泵，機(jī)械泵是應(yīng)用廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果并依靠機(jī)械的方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積，使被抽容器內(nèi)氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。機(jī)械泵有很多種，常用的有滑閥式、活塞往復(fù)式、定片式和旋片式四種類型。

　　機(jī)械泵常常被用來抽除干燥的空氣，但不能抽除含氧量過高、有爆炸性和腐蝕性的氣體，機(jī)械泵一般被用來抽除永j性的氣體，但是對水氣沒有好的效果，所以它不能抽除水氣。旋片泵中起主要作用的部件是定子、轉(zhuǎn)子、彈片等，轉(zhuǎn)子在定子里面但與定子不同心軸，如兩個內(nèi)切圓，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩片彈片，兩彈片中間裝有彈簧，保證了彈片緊緊貼在定子的內(nèi)壁。

　　它的兩個彈片交替起著兩方面的作用，一方面從進(jìn)氣口吸進(jìn)氣體，另一方面壓縮已經(jīng)吸進(jìn)的氣體，將氣體排出泵外。轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一周，泵完成兩次吸氣和兩次排氣。當(dāng)泵連續(xù)順時針轉(zhuǎn)動時，旋片泵不斷的通過進(jìn)氣口吸入氣體，又從排氣口不斷的排出泵外，實現(xiàn)對容器抽氣的目的。為了提高泵的極限真空度，均將泵的定子浸在油里面這樣，在各處的間隙中及有害空間里面經(jīng)常保持足夠的油，把空隙填滿，所以油一方面起到了潤滑作用，另一方面又起了密封和堵塞縫隙及有害空間的作用，防止氣體分子通過各種渠道反流到壓強(qiáng)低的空間去。機(jī)械泵是從大氣開始工作的，它的主要參數(shù)有極限真空，抽氣速率，此為設(shè)計與選用機(jī)械泵的重要依據(jù)。單級泵可以將容器從大氣抽到1.0*10-1PA的極限真空，雙級機(jī)械泵可以將容器從大氣抽到6.7*10-2PA，甚至更高。

　　抽氣速率是指旋片泵按額定轉(zhuǎn)數(shù)運(yùn)轉(zhuǎn)時，單位時間內(nèi)所能排出氣體的體積，可以用下公式計算：

　　Sth=2nVs=2nfsL；

　　fs表示吸氣結(jié)束時空腔截面積，L表示空腔長度，系數(shù)表示轉(zhuǎn)子每旋轉(zhuǎn)一周有兩次排氣過程，Vs表示當(dāng)轉(zhuǎn)子處于水平位置的時候，吸氣結(jié)束，此時空腔內(nèi)的體積大，轉(zhuǎn)速為n。

　　機(jī)械泵排氣的效果還與電機(jī)的轉(zhuǎn)速及皮帶的松緊度有關(guān)系，當(dāng)電機(jī)的皮帶比較松，電機(jī)轉(zhuǎn)速很慢的時候，機(jī)械泵的排氣效果也會變差，所以要經(jīng)常保養(yǎng)，點檢，機(jī)械泵油的密封效果也需要常常點檢，油過少，達(dá)不到密封效果，泵內(nèi)會漏氣，油過多，把吸氣孔堵塞，無法吸氣和排氣，一般，在油位在線下0.5cm即可。